臭氧發(fā)生器通過使氧氣或干燥的空氣通過高壓電場或電暈產(chǎn)生臭氧。O2鍵分裂，釋放出氧原子（O1）以與O2分子快速碰撞形成O3。調(diào)節(jié)施加的電壓，頻率或空氣流速會影響臭氧的產(chǎn)生。同樣，產(chǎn)生的濃度也受原料氣的露點和溫度影響。
電暈放電臭氧發(fā)生器的主要部件：
組成普通臭氧發(fā)生器的四個主??要組成部分：
（1）變壓器
（2）高壓或高頻電極
（3）絕緣材料
（4）低壓（接地）電極
臭氧通常以ppm（百萬分之一），g/h（克/小時）或重量百分比的形式計算。所施加的濃度范圍空氣為原料的情況下為1至5w％，在氧氣為原料的情況下為6至14w％。溫度和濕度對臭氧濃度起很大作用。如果使用潮濕的空氣而不是非常干燥的空氣，則任何臭氧發(fā)生器的發(fā)電量都會受到影響。
特別注意事項
臭氧不能像其他工業(yè)氣體一樣進行存儲和運輸，因為它會迅速分解為雙原子氧，因此必須在現(xiàn)場生產(chǎn)。
影響臭氧產(chǎn)生效率的主要參數(shù)是氣體溫度，該氣體溫度由冷卻水溫度和/或氣體速度控制。水越冷，臭氧合成越好。氣體速度越低，濃度越高（但產(chǎn)生的凈臭氧量越低）。在典型的工業(yè)條件下，幾乎有90％的有效功率會產(chǎn)生大量熱量，就需要通過足夠的冷卻水流將其冷卻。
由于臭氧的高反應(yīng)活性，因此只能使用很少的材料，例如不銹鋼（質(zhì)量316L），鈦，鋁（只要不存在水分），玻璃，聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯。
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